案内記事>> 出展：NEDIA通信NO.10
■NEDIA DAY東北&第2回JSENA部会技術交換会の報告
7月10日(木)最強と言われる台風が日本を縦断する真っただ 中、NEDIADAY東北＆第2回 JSENA部会技術情報交換会を 開催した。
午前中は、東北大学の大見先生 のご厚意により、東北大学未来 科学技術共同研究センターのク リーンルームの見学会を行った。
午後からはNEDIADAY東北 と第2回JSENA部会技術情報 交換会を同時開催した。
＜クリーンルーム見学＞
| 10時に仙台駅に集まり、貸切 バスで東北大学未来科学技術共 同研究センター移動。
10時30分から大見先生から「半 導体産業の現状と将来/スーパ ークリーンルーム技術の劇的向上とそのランニングコストの劇的低減」の資料でクリーンルー ム見学前の予備知識として持っ て欲しい内容の講演があった。
この中では、「ラジカル酸化膜、 ラジカル窒化膜」の推進が必要、「水分の除去」が重要である 等々、数nm近くになった場合 の課題が多く見えてきた。 クリーンルームの更衣室に入る と、会社名と氏名を掲げ、無塵 衣とクリーンブーツが準備され ていた。 また、各装置やユニット前に行 くと、非常に分かりやすく説明 が行われ、質問にも丁寧に答えてもらえた。
大見研では、時間を守る為に、 お互いが連携を保っており、時 間が無くなると、説明員に合図 をおくる。 このクリーンルームの見学では、 技術も含め、工場見学の実施方法について、企業にも参考になる点が多々あった。 その後、青葉山キャンパスから 片平キャンパスにバスで移動し た。
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＜NEDIADAY東北＆第2回JSENA部会技術情報交換会>
司会進行は千葉東北NEDIA副代表が受け持った。
齋藤NEDIA代表理事・会長 の挨拶から始まり、
NEDIADAY東北からは、20数年前か ら開発しているMEMSセンサ ーについて、「半導体技術による 高機能部品MEMS」の演題で東 北大学の江刺氏からの講演。現 在は量産をしているセンサーも あるとの事。
試作コインランド リーと銘打って民間企業から常 に数十名の研究者が集う、日本 最強の大学研究室と評されるだ けの内容ある講演であった。
次の講演は、日本遺伝子研究所 の中川原氏から「医療の世界と先端エレクトロニクス～医療ビ ジネスの今分析／解析装置～」 と題する講演があった。白血病 検査では日本一の実績を誇るラ ボは、DNA人工合成から分子レ ベルでの遺伝子検査までを高信 頼性、低価格で実施出来るよう に進化して来たことを分かり易 く説明された。
後半は、第2回JSENA部会 技術情報交換会。
JSENA活動報告(和田氏)から 始まり、JSENA部会の4社が プレゼンを行った。 最初は、「ウエット系製造装置用 純正交換部品のご紹介」でファ ーストゲートの土肥氏から自 社で取り扱っている商品の解 説。 今回は、プレゼンも初めての 経験と言う。そして、土肥氏 は通常、工場でポンプのオー バーホールに従事していると 言う。
「凌和電子の紹介と事業展開」 は凌和電子の板垣氏から発表。 自社で展開している電気系、メ カ系、画像処理系の実績、自社 製品の開発と修理事業と幅広く 展開している。
「設備機器の基板修理・復刻」 はパターンアート研究所の八重 樫氏。 製造中止の基板を解析し、修理 や新たに基板を復刻する事業を 行っている。
「半導体製造設備のメンテナン ス事業展開」はOMTの柴田氏。
デバイスメーカーに入りオーバ ーホールや改造、耐震固定等を 行っている。
資料の中に東北半導体メーカー の修理のニーズがあった。 最も 多いのは基板修理、搬送ロボッ トOH、ドライポンプOH、電 源ユニット修理、各種コントロ ーラ修理と続く。興味のあるデ ータであった。
最後に川添東北NEDIA代 表からの挨拶。
＜交流会＞
交流会の司会進行は、福王寺氏（第一通信工業）に交代した。
齋藤会長の挨拶に始まり、大見 先生の乾杯、そして中締めは周 藤事務局長、この間に、川添東 北NEDIA代表による、マジッ ク。
＜謝辞＞ 台風の中、出席して頂いた、聴 講者の皆様、会場設営や受付等 を行ったNPO法人科学協力学 際センターの皆様、クリーンル ーム見学でお世話になった東北 大学未来科学技術共同研究セン ターの皆様に感謝申し上げます。
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