◆ひびきの半導体アカデミー協賛講座◆
九州地区ナノテクノロジー・プラットフォーム
H27年度 電子線描画リソグラフィスクール
■開催講座：九州地区ナノテクノロジー・プラットフォーム
H27年度 電子線描画リソグラフィスクール
■主催：微細加工プラットフォーム
（東京工業大学 及び 北九州産業学術推進機構）
協賛：ひびきの半導体アカデミー
■開催日時：
講義⇒平成28年3月1日(火) 13:15～16:00
実習⇒平成28年3月2日(水)・3月3日(木) 10:00～17:00
■会場：北九州学術研究都市
講義⇒産学連携センター2F 研修室
実習⇒共同研究開発センター
■講座概要：
FAISは、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業の微細加工
プラットフォームの一員として活動しております。この度、同プラットフ
ォームの東京工業大学と「電子線描画リソグラフィスクール」を開催しま
す。
本スクールは、文部科学省ナノテクノロジー・プラットフォーム事業の
一環として、産学官の研究者に電子線描画リソグラフィ技術を中心とした
超微細加工に関する装置やその原理を学習する場と、電子線描画リソグラ
フィ技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける人材
育成に貢献することを目的としています。
講義では電子線描画リソグラフィ技術およびフォトリソグラフィに関す
る講義３コマを行います。また希望者に対して、電子線描画リソグラフィ
に関する実習を実施します。
■講座内容等詳細 ・・・下記チラシ参照。
■お申込方法: 半導体・エレクトロニクス技術センターHPよりお申込みください。
http://www.ksrp.or.jp/fais/sec/reserve/academy/detail.php?form=56
■募集期間：定員になり次第〆切
講義⇒平成27年12月17日（木）～平成28年2月23日（火）
実習⇒平成27年12月17日（木）～平成28年2月2日（火）
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┃●半導体・エレクトロニクス技術センター総合案内●
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http://www.ksrp.or.jp/fais/sec/
┃●お問い合わせ●
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公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）
半導体・エレクトロニクス技術センター 担当：上野
E-mail：http://www.ksrp.or.jp/fais/sec/mailto.html
Tel：093-695-3007
