「第 11 回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告

（１）開会の挨拶/阪神淡路大震災～熊本地震

和田悟氏/NEDIA 理事、装置・保守部会長、

関西NEDIA 副代表、セミリンクス代表

開会の挨拶、本日のプログラムの説明。

阪神淡路大震災～熊本地震より得られた事柄についてプレゼンを行った。いろいろな面で「始まりは阪神淡路大震」であった。「関西は絶対に地震が来ない」と言っていたが、いきなり震度 7 の地震。あわてない為にも、日ごろの意識付けが重要。

（２）半導体製造装置向け薬液加熱用ヒーターのご紹介

土肥司氏/ファーストゲート㈱  技術グループ

・液体制御系を中心にコンポーネント部品、薬液、技術サポートを提供している。

・コンポーネント部品はフローメータ、コントロールバルブ、テフロンポンプフローコントローラ、流量計、メガソニック、プロセス加熱、冷却システムを顧客のニーズにあった製品を提供している。今回はヒーター等を主体に解説した。

・薬液は、低環境負荷剥離液を取扱っている

・技術サポートは、イオン注入装置向けディスク再生サポートを行っている。

 （３）SiC 加工新工場、2017 年 3 月稼動

山岸清剛氏/六甲電子㈱  技術部課長

・新工場 D 棟を現在着工しており、2017 年 3 月に稼働予定と言う。新工場の目的は、3 点

１）SiC の生産能力向上

２）シリコン工程と完全に分離し、シリコンの汚染を無くす。

３）プロセス短縮によりコストダウン。

 現行プロセスでは 11～25 時間の所、新プロセスは 2～4 時間と大幅に削減できる。

 〇  休憩（名刺交換）

参加者から全員、自己紹介と NDIEA、装置・保守部会への期待についてコメントを頂いた。

その後、プレゼン会社、参加者との名刺交換を行った。

名刺交換の時間が短く、次回は、時間を多く取る様にしたい。

 （４）IoT 向けデータサーバ「L-One（エルワン）」

奥原達夫氏/アーズ㈱  V&V Division Manager

 IoT 向けデータサーバについてのプレゼンを行った。

内容として、IoT の概要から、自社のデータサーバの 位置付けを、分かりやすく説明された。 データサーバーは、アプリのインストール不要、イ ンターネット不要で非常に安価に構築出来る。

プレゼン後、質問も多く出た。

田中久氏/㈱インターテック販売  WP 営業部

 MPA-600 のオプションとして裏面アライメントシステム（IRAS)がある。

最近、問合せが出始めている。

顧客が、MPA-600 を保有していれば、ハードの取付が 2 日間、調整・データ採りが 3 日間、合計 5 日間で裏面アライメントが出来る。

MPA-600FA/Super のアライメント精度は±2μｍと言う。