NEDIA通信No.19記事 開催案内＞＞
「NEDIA Day 東北 &第 10 回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告
日時：2016 年 7 月 1 日（金）13：00～17：30
場所：東北大学片平さくらホール
主催：一般社団法人日本電子デバイス産業協会 東北 NEDIA、装置・保守部会
共催：東北大学未来科学共同研究センター
スポンサー：六甲電子㈱
参加費：NEDIA 会員：1,500 円、一般：4,000 円
参加者：42 名（装置・保守部会：19 名、NEDIA：13 名、一般：10 名）
参加会社：30 社・団体
【概要】
東北 NEDIA と装置・保守部会の合同開催は 2 回目となる。そして、故大見先生の追悼も含めての 開催となった。
NEDIA Day 東北では、泉谷氏が「大見忠弘先生追悼メモリアル講演」で基調講演 を、川添氏は、「大見教授の寄与と将来展望」で講演を行った。
装置・保守部会は、新規に参加した、野村マイクロ・サイエンス㈱が会社紹介と、水処理以外の活 動についての紹介。青梅エレクトロニクス㈱は、会社紹介と製造設備の問題点についての紹介を行 った。
また、六甲電子㈱は、自社の研磨技術についての報告をおこ なった。六甲電子㈱は、今回もスポンサーとなっている。リソテッ クジャパン㈱は、自社が取り扱っている、膜
千葉芳弘 氏
厚測定器を容易に高性能化が可能なアップグレードキットについての紹介をおこなった。
12：30～受付開始
受付は、今回も日総工産㈱の本田様、高橋様へお願いした。
13：00～本日のプログラム（司会進行）
千葉芳弘氏／東北 NEDIA 副代表、日総工産㈱ 製造総括部副部長
今回も、日総工産㈱の千葉氏に進行を行って頂いた。千葉氏は、東北 NEDIA 副代表であり、 日総工産㈱としては装置・保守部会にも参加している。
齋藤昇三 氏
13：10～開会の挨拶
齋藤昇三氏／NEDIA 代表理事・会長、㈱東芝 常任顧問
齋藤会長より、開会の挨拶があった。
今回は、NEDIA のロードマップ委員長であった、大見委 員長の追悼で、本日発行した、「NEDIA 戦略ロードマッ プ 2015」を参加者全員に配布した。これは、「きづき」 に着目し、そこからイノベーションつながる方向性について書かれており、一般にも販売する。
【第 10 回装置・保守部会技術情報交換会】
13：20～「挨拶と装置・保守部会活動」
和田 悟 氏／NEDIA 理事、装置・保守部会長、関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表
装置・保守部会は、参加各社が問題となっている装置や最新情報を報告し、それに対して、今後 の業務に展開できる様にするための技術報告会です。従って、報告のあった会社や参加している 会社との商談や情報交換を主に行っている。休憩時間や交流会で発表者や参加者間の名刺交換や 情報交換を行い、今後の業務につなげて頂ければ幸いです。
菅野博史 氏
13：25～「SEMICON Japan 2016 年の取り組み」
菅野博史氏/SEMI ジャパン セールス マネージャー
SEMI ジャパンより、今年の SEMICON Japan の取り組み、そして、中古装置に特化した市場データーの販売を 開始した。多くの方に、セミコンジャパンへの展示、参 加を期待する。中古装置のデーターベースに興味のある 方は、連絡をして頂きたい。
柳基典 氏
13：30～「会社概要と製品のご紹介
～環境にやさしい技術のご提案～」
柳基典氏 (部長研究員) 、堀徹氏 (主任研究員) 野村マイクロ・サイエンス㈱ 技術開発部
野村マイクロは野村財閥から発足している。95%は純水～超純水事業を行っている会社である。残り 5%は、あまり知られていないが、水処理に関連した設備や材料を開発研究している。
天辻喜則 氏
13：55～「ウエハ加工”六甲プレミアムプロセス”と SiC 加工の最新状況」
天辻喜則氏／六甲電子㈱ 営業部
ウェハ裏面加工で六甲電子独自のプロセスを保有している。 一般的な方法と六甲電子プロセスを比較しながらの報告。 また SiC ウェハ研磨加工について（再生も含めて）優位性を 報告された。
南洋一 氏
14:20～「Foothill 社製膜厚計アップグレードキットの N-2 の ご紹介」
南洋一氏／リソテックジャパン㈱ 代表取締役
元ナノメトリックスの方がスピンアウトし、新たに膜厚測定機のユニットを製作した。 このユニットは、ナノスペックのヘッドを取り換えるだけで 安価で高性能な膜厚測定が可能となる。
また、顕微鏡のヘッドの交換でも取り換え可能な場合もある。
福島正人 氏
14:40～「会社概要と設備保全について」
福島正人氏／青梅エレクトロニクス㈱ 技術部 部長
7 月から NEDIA 会員に入会した。入会と同時に装置・保守部 会に参加した。 前半は、青梅エレクトロニクスの会社案内と事業紹介、後半 は、自社で問題となっている、装置の問題点と対応について 説明された。
装置メーカー対応不可、製造中止部品等についての対応を具体的に実施した報告が有った。
今後は、個別にお願い致します。ご協力をお願い致します。
15：00～休憩（名刺交換）
休憩時間には、参加者から発表者や参加者間との名刺交換もあり、次の仕事や展開につなげて頂ければ幸いである。
会場風景／東北大学片平さくらホール
【NEDIA Day 東北】
15：20～「半導体デバイス革命は材料から～大見教授の寄与と将来展望～」
川添良幸 氏
川添良幸氏／NEDIA 理事、東北 NEDIA 代表、東北大学未来科学共同研究センター教授
川添氏は、2～3 年ぶりの講演と言う。
講演で興味の引いた言葉(話）が 4 つある。
１．大見先生は「自分で作り実証する」
２．冷蔵庫、エアコン等の家電は 70 年以降、変化していない。
３．日本は、ガラパゴスで頑張る。
４．日本の周りには、メタンハイドレードが多くあり、日本は、 資源大国である。
普通だと、通り過ぎてしまう言葉（話）を、今一度、考える講演であった。
16：10～[基調講演～大見忠弘先生追悼メモリアル講演～]
「2016～2017 半導体設備投資は IoT 革命急速で一輝拡大」 泉谷渉氏／NEDIA 理事・
泉谷渉 氏
副会長、㈱産業タイムズ社 代表取締役社長
「デジタル家電は、崩壊した」から、始まった。 これからは、IoT が成長すると言う。
・インターネットにつながる電子機器の市場規模
・半導体設備投資、半導体メーカーの M&A や再編
・電子部品の活況
・自動運転車に関連するセンサーやシステム LSI の拡大
・産業用・家庭用・サービス用ロボットの拡大
・クレージーホース＝中国の巨大投資 と言った幅広い見地からの講演を行って頂いた。
そして、後半に大見先生の話になった。
半導体を推進する為の国家プロジェクトが発足され、そのリーダーとなり推進していく。
17：10～「閉会の挨拶」
川添良幸氏／NEDIA 理事、東北 NEDIA 代表、東北大学未来科学共同研究センター教授
■交流会
～発表者との情報交換、参加者同士の情報交換の場として～
日時：2016 年 7 月 1 日(金)17:30～19:30 場所：レストラン萩
主催：東北 NEDIA、装置・保守部会 参加費：NEDIA 会員・一般：4,000 円
参加者：28 名（装置・保守部会：15 名、NEDIA：9 名、一般：4 名） 参加会社：18 社
司会進行：
千葉芳弘氏／東北 NEDIA 副代表、日総工産㈱ 製造総括部副部長
