【FAIS】　ひびきの半導体アカデミー講座

「ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座」のご案内

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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム一環講座
◆ひびきの半導体アカデミー講座◆ご案内
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◯本案内のチラシ添付：ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座.pdf＞＞

■開催講座：『ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサ作製実習講座』

■主催：公益財団法人北九州産業学術推進機構

(文部科学省 微細加工プラットフォーム実施機関)
(https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/)

■講師：東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター長・教授

戸津　健太郎　氏

■開催日時：2021年11月17日（水）～19日（金）各日 9：00～17：00

■場所：北九州学術研究都市　共同研究開発センター

■講座概要：
ピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの原理や加工プロセスの説明と装置操作
体験により、MEMSデバイスに対する理解を深めます。また、センサを実
装し、Wi-Fi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォン
等でモニタリングできるようにします。MEMS技術は、ロボット、IoT、
AIなどのセンサに欠かせない重要な技術となっています。企業や大学等
の研究開発の振興、生産性向上、新たなアイデア・創作などにつながれ
ば幸いです。　　　　※圧力センサは事前に作製したものを使用します。

■講座日程

[1日目] MEMSの構造・役割・仕組・工程フロー、前工程（フォトリソ、

イオン注入、CVD、RIE、スパッタなど）装置操作体験

[2日目]ダイシング、ダイボンド、ワイヤボンド、プリント基板実装実地体験

[3日目]マイコンプログラミング、評価、まとめ、試作コインランドリや次期PJの紹介

■対象者：半導体・エレクトロニクス分野に関わる企業の方、研究者・学生

ナノテクノロジープラットフォーム利用者

■募集定員：5名（先着順）

■受講料・テキスト代:無料

■詳細・お申込方法

http://www.ksrp.or.jp/fais/mic/reserve/academy/detail.php?form=84

┃●自動車エレクトロニクスグループ総合案内●
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http://car-el.ksrp.or.jp/

┃●FAIS微細加工プラットフォーム●
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https://www.ksrp.or.jp/fais/mic/nano/

┃●お問い合わせ●
┗━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）
自動車エレクトロニクスグループ　担当：上野・冨田
E-mail：http://car-el.ksrp.or.jp/contact/
Tel：093-695-3685