第8回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告
理事 装置・保守部会長 和田 悟
日時：2015 年 12 月 15 日(火)14：30～17：00
場所：中小企業振興公社会議室１（東京、秋葉原）
会費：NEDIA 会員：1,000 円、一般：3,000 円
スポンサー：六甲電子(株)
参加者：43 名（装置・保守部会：30 名、NEDIA：6 名、一般：7 名）
参加会社：27 社（デバイス：8 社、装置・メンテ：15 社、一般：4 社）
テーマ：200mm 以下装置の延命化対策、性能向上、保全に対してのリクエストと対策
～言いたい事を徹底的に！そして業績向上！！～
【概要】
技術情報交換会会場
・第 7 回技術情報交換会でリコー電子デバイス(株)より 「200mmm 以下半導体工場の長期利用に向 けた NEDIA への期待」のプレゼンがあり、今回はそれに対する回答の位置付けです。
・前半は、１月に分社化するセイコーインスツル(株)からの新会社説明、そして、延命化に取り組ん でいるデバイスメーカー、研磨メーカーからの提案があります。
・初参加者からの一言の時間を取っています。 その後、休憩時間には、発表者、参加者間での名刺交換の時間です。
リコー電子デバイス㈱ 工場長 藤川 氏
・後半は、デバイスメーカーからの提言に対する回答です。
・資料は装置・保守部会の HP に掲載しています。
ただし、 資料によっては一部掲載していません。
13:20～受付開始
会場は定員 70 名だが 43 名が参加した。
この位が、参加者の顔が見えて丁度良い。
13:50～本日のプログラム（司会進行）
藤川久志氏/リコー電子デバイス(株)生産センター兼やしろ工場工場長 今回もリコー電子デバイスの藤川氏に司会進行をお願いしました。
当日の予定変更も対応して頂きました。
13:55～開会の挨拶＆アンケート報告
和田悟氏/NEDIA 理事、装置・保守部会長、関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表
仕事に直結した技術情報交換会を目指しています。 出来る限り、休憩時間や交流会で名刺交換や情報交換を行って頂きたいと 思っています。
今回は NEDIA 会員のデバイスメーカーへ事前にアンケート調査をしました。
3 社より回答を頂きましたが、具体的な問題装置も記載している内容もあります ので、自社で対応可能であれば、連絡をお願い致します。
※アンケート結果は装置・保守部会の HP にあります。
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 六甲電子㈱ 生産技術課次長 池内 氏 |
14:05～エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社のご紹介
小山内 潤 氏 /セイコーインスツル(株)
半導体事業部商品総括部 総括部長
2016 年 1 月にセイコーインスツルからエスアイアイ・セミコン ダクタに変わります。
新会社について、説明して頂きました。
14:30～200mm 以下半導体生産ライ ンにおける設備延命化対策 の取り組み
荻善一郎氏/パナソニックセミコンダクターソリューショ ンズ(株)半導体ビジネスユニット事業管理部担当部長
パナソニック セミコンダクターソリューションズとパナソニ ック タワージャズ セミコンダクターの 2 社での発表。
旧 JSENA 時代で 4 つの活動実績の紹介が有り、それに対する成果も出しています。
また、設備延命化課題のアウトラインの紹介、そして具体的な 装置延命化の紹介がありました。
最後に装置・保守部会に対す る期待では情報の共有化等の提案が有った。
14:55～六甲電子から見た設備管理への課題
池内 隆啓 氏 / 六甲電子(株)研究開発部兼製造管理部生産技術課次長
省エネルギー対策として、コンプレッサーの更新、老朽化設備の現状について説明を行って頂きました。
今後の課題、装置・保守部会への期待についても報告して 頂きました。
15:20～初参加者からの一言
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初参加の方々から一言頂きました。
名刺交換会
15:25～休憩（名刺交換）
休憩時間は、発表者、参加者間との名刺交換、情報交換
を行いました。 ただ、時間が短い為、交流会に続きます。
 くまさんメディクス㈱ 営業課長 宮本 氏 |
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5:40～くまさんメディクスの事業と今後
宮本哲幸氏/くまさんメディクス(株)MPSD 部営業課長
イオン注入機が中心のサービスの様であるが、プローバー 他のサービスも拡大。
また、業務請負、OEM 業務も行っています。例として制 御盤製造は OEM でハード設計以降の業務を請け負ってい ます。
海外グループ会社として上海・台湾を設立しています。
16:05～クリーンルームのファンコントロールユニットおよび
その集中監視盤の開発・設計によるリプレース実績の紹介
福王寺 一元 氏 / 第一通信工業(株)取締役技術部長
八重樫 幸夫 氏 / (株パターンアート研究所代表取締役社長
中村 雄 氏 / (株)パターンアート研究所開発ｸﾞﾙｰﾌﾟﾏﾈｰｼﾞｬｰ
 ㈱ﾊﾟﾀｰﾝｱｰﾄ研究所 ﾏﾈｰｼﾞｬｰ 中村 氏 |
 ㈱ﾊﾟﾀｰﾝｱｰﾄ研究所 代表取締役社長 |
 第一通信工業㈱ 取締役 福王寺 氏 |
装置・保守部会のメンバー、第一通信工業とパターンアート研究所の 2 社が共同で実施した FFU の集中監視盤のリプレース実績の紹介をおこなっています。 装置・保守部会は、自社で出来ない事は、横の連携を取っています。
2 社で発表をするのは、今回、初の挑戦でした。
※発表後、デバイスメーカーから具体的な打合せをしたいとの打診が有ったそうです。
第一通信工業㈱ 取締役 福王寺 氏
16:30～若い世代への技術の伝承と育成についての取り組み紹介
福王寺 一元 氏 / 第一通信工業(株) 取締役技術部長
デバイスメーカーから、「サードパーティの若手への教育の伝 承をどの様にしているのか？」に対して、第一通信工業とし ての教育の紹介が有った。
16:55～閉会の挨拶＆NEITAS 設立について
南 洋一 氏 / NEDIA 理事、装置・保守部会副会長、新事業創生委員会、 リソテックジャパン(株)代表取締役
閉会の挨拶の後、「株式会社ネイタス設立のお知らせ」を行った。
■交流会(忘年会)
～発表者との情報交換、参加者同士の情報交換の場としています～
12 月は忘年会も兼ねていますので、どしどし参加ください。
日時：2015 年 12 月 15 日(火)18：00～20：30
場所：ワインダイニング Laffine(貸切)（東京、秋葉原）
参加費：7,000 円
主催：装置・保守部会
参加者：36 名（装置・保守部会：30 名、NEDIA：3 名、一般：3 名）
参加会社：20 社（装置・メンテ：12 社、デバイス：6 社、一般：2 社）
大変多くの方々に参加して頂きました。
■発表資料について
当日、発表した全てのプレゼン資料を、発表会社の了解を得て、装置・保守部会の HP に掲載して
います。
■謝辞
受付には(株)インターテックの田中様、日総工産の高橋様に行って頂き、交流会については(株)リコ ー電子デバイスの山本様に準備、進行等を行って頂きました、この場を借りて御礼申し上げます。
