（ひびきの半導体アカデミーは、２００６年度より電気学会九州支部協賛 で開催しております。） 《今回は、2014年12月度開催講座のご案内です》
●開催講座詳細●
【講座内容】 『半導体の故障解析～ナノテクノロジープラットフォーム設備を活用した解析事例』
【講 師】 東芝ナノアナリシス株式会社 福澤 優子 氏
【開催日時】 １２／１８（木） １３：００～１７：００
【会 場】 北九州学術研究都市 産学連携センター （一号館） ２F研修室／共同研究開発センター
【講座概要】 故障は、製造過程に発生するもの、評価試験中に発見されるもの、 市場において時間・環境に依存して 発生するもの等があります。 故障解析は、単に原因やメカニズムを究明するだけでなく、フィードバックを図り、的確な対策を施して不良の再発を防止するために重要な技術分野です。 故障解析で原因やメカニズムを正しく解明するためには、綿密な解析手順に従って、数々の装置、手法を駆使して解析を行わなければなりません。 今回の講座では、故障解析の意義と故障解析の手順、主な故障モードとメカニズム、故障解析に用いられる装置、解析事例をご紹介します。 また、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）やマイクロスコープ等解析装置やIC・MEMSの加工装置の見学と解析装置を用いた解析実演を行います。 本講座は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 (https://nanonet.go.jp/)の一環で実施しています。
※講座内容、対象者、お問合せ等詳細は、下記またはチラシ（PDF)をご覧ください。
【受講料・テキスト代】 無料
【お申込み方法】 半導体・エレクトロニクス技術センターホームページよりお申込みください。 http://www.ksrp.or.jp/fais/sec/reserve/academy/detail.php?form=49 （※募集期間：平成26年10月20日(月)～平成26年12月9日(火)）
【参考】 半導体・エレクトロニクス技術センター総合案内 ＵＲＬ ： http://www.ksrp.or.jp/fais/sec/index.html
